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公司研發的陶瓷轉接板(TCV)制備工藝流程如下圖所示。首先采用激光在陶瓷基片上打孔,然后利用真空濺射技術在基片表面沉積金屬種子層,接著以光刻、顯影、刻蝕等工藝完成線路制作,通過電鍍增加線路層厚度,最后去除干膜和種子層,得到含金屬線路層的陶瓷基板。TCV陶瓷基板制備前端采用半導體微加工技術(激光打孔、濺射鍍膜、光刻顯影、化學刻蝕等)形成高精度圖形,后端采用印刷線路板(PCB)工藝(電鍍、填孔、磨板等)增加金屬線路層厚度與平整度,技術優勢明顯。

圖 TCV陶瓷基板制備工藝流程


